二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200AV #293632893 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200AV是一款先進的離子植入器和監視器，旨在為半導體制造的優化性能和提高經濟性提供平臺。這款設備配備了一個連續可變的數字控制器，可以讓用戶選擇和監控最精確的參數，以保證最高質量的植入性能。離子束源利用電子回旋共振（ECR）源技術，使高能、高純度束形成。這項技術允許更短的植入時間和增加的光束範圍。AXCELIS NV 6200AV還配備了離子註入和提取光學器件，提供精確的光束控制和提高的均勻性。該系統具有高達8.5厘米的大而均勻的光束孔徑，確保更精確的光束在晶圓上傳遞。隨附的植入物/前緣支撐塔包含一個渦輪分子泵，在植入時提供穩定、清潔的替代氣氛。這樣可以確保植入性能一致和植入顆粒汙染低。EATON NOVA NV 6200 AV還具有先進的工藝監控能力，允許在植入過程中對離子束進行精確監控。這包括實時監測光束能量、電流和劑量，以改進晶圓質量控制。此外，綜合光輻射防護裝置使用多透鏡陣列，以保護離子源和其他用戶免受潛在有害排放。此外，該機與四極管兼容，能夠提高光束精度和電流穩定性。總體而言，EATON NOVA NV 6200AV是一種先進的離子植入器和顯示器，提供優化的性能和卓越的規模經濟。該工具利用精確的數字控制器、創新的電子回旋共振源技術，以及先進的工藝監控能力，以確保質量最高的晶片汙染最少。隨附的植入器/前緣支撐塔和光輻射防護資產可進一步防止任何潛在的危害。