二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200AV #9411903 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200AV是為生產先進集成電路和其他高精度先進材料而設計的先進離子體植入器和監視器。這臺機器能夠以高電流密度將離子植入基質中，從而產生精確的摻雜和低氣體釋放，從而排除了粒子陷阱。植入器使用一系列25個高壓電池，這些電池以倒星形排列，可以精確移動和控制離子。植入器還裝有電子束診斷系統，允許實時決定植入器的性能。該工具的設計考慮到了精確度和準確性。NovaAXCELIS NV 6200AV具有最先進的活性監測器,可提供峰值離子電流以及植入劑量、劑量分布、掃描範圍和粒度,同時提供最佳植入條件的反饋數據。該控制面板提供多種電源功能，包括電源穩定、快速電壓傾斜和光束穩定。這允許在非臨界過程窗口內進行精確的離子註入，減少顆粒汙染，提高芯片的機械穩定性。植入器還具有高電流、多段負載線圈組件。這允許對每個離子物種進行精確操作，即使在高電流濃度的情況下也能產生均勻的離子通量區域。對離子的精確控制確保在每一層產生所需的摻雜濃度的精確植入物。植入器還有一個內置的光束聚焦系統，根據植入條件進行調整，以確保最佳投影。EATON NOVA NV 6200 AV是一款可靠、高度先進的Ionomer Implanter and Monitor。它確保了精確和均勻的離子植入，並有一個前所未有的強大的實時監視器，允許一致的結果。此刀具是任何高精度IC制造和先進材料制造過程所必需的。