二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8200 #9409485 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 8200是為最苛刻的半導體處理應用而設計的下一代多用途離子植入器和顯示器設備。它能夠提供卓越的離子植入性能，以及高度準確可靠的監控能力。NovaAXCELIS NV 8200系統的核心是大面積穿孔離子源（LAPIS），提供卓越的離子植入性能。LAPIS允許大面積的高通量和均勻劑量。它還提供了改進的空間均勻性控制，並允許優化過程控制。該裝置還具有高分辨率、高精度的全場偏轉器控制機，使光束能夠精確轉向，同時最大限度地減少了偏轉對整體光束均勻性的影響。該工具改進了空間均勻性的控制，優化了整個植入過程的劑量分布。NovaEATON NOVA NV 8200還具有高精度、單色型離子監視器,可提供卓越的穩定性和準確性。這允許對植入過程進行精確控制，並提供高水平的劑量均勻性和控制性。此外，資產配備閉環、溫控真空室，提供優越的操作條件，保持光束均勻性。腔室對環境溫度的變化具有高度絕緣，從而最大限度地減少了光束特性的變化。此外，該模型還包括其他幾個特點，如高性能、電動高度調節器，可以快速準確地調節源高度，以及一個場可調節的波束線機械手，可以快速準確地調節光束角和/或入射角。總體而言,NV 8200是一款卓越的多功能離子植入器和顯示器設備,旨在提供卓越的性能和可靠的監控功能。其特點使其成為要求苛刻的半導體加工應用的理想選擇。