二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8200P #293587241 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 8200P是一種先進的離子植入器和顯示器，用於半導體制造操作。它具有高精度、基於直流的植入設備，具有多種集成傳感器和顯示器，能夠實現精確和可重復的離子植入。該系統具有廣泛的植入物參數和制定過程規則的能力，旨在以經濟高效的方式提供優異的效果。該機組以0-90 kV加速電壓範圍和高達350 mA電流的先進多功能源為特色，使其既可以植入硼、磷、砷等輕離子，又可以植入的重離子有零、鈦、氘等。為了提供準確的結果，它配備了一系列的原位監視器和傳感器，包括用於測量植入物分布和劑量率的時間相關剖面的寬闊掃描通道，以及用於過程穩定的溫度感測探頭。AXCELIS NV-8200P還包括完整的自動化和控制功能,允許對過程參數進行微調和優化。例如，它可以設置和監控過程極限，調整光束剛度和能量，補償光束擺動和非線性。它還可以快速測量臨界劑量率，以及檢測和糾正偏差誤差。控制機還具有直觀、一觸即發的用戶界面，提供一系列信息，包括當前的工藝條件和能級、刀具狀態以及要執行的配方。此外,該資產還包括用於減少周期時間和提高產品產量的完整流程優化工具,以及用於故障排除問題的完整的維護和診斷工具套件。總體而言,EATON NOVA NV 8200 P是一款先進且用途廣泛的離子植入器和顯示器,旨在提供準確、可重復的結果,同時提供可靠的過程控制。它具有直觀的用戶界面和完整的自動化和控制功能，非常適合半導體制造應用。