二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8200P #293646149 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 293646149
晶圓大小: 6"
Ion implanter, 6"
Transformer
Injector:
Bernase ion source with dual vaporizer
Single stage extraction, 15-40 kV
Dipole magnet, 90°
Target postioning / scanning system:
Parallel beam
Electrostatic angle correction
Programmable tilt, 0°-60°
Endstation:
Electrostatic silicon wafer chuck, 6"
Flat / notch alignment with buffer cassette
3-Axis robotic pick and place system
Vacuum system:
LEYBOLD HERAEUS TMP 1000C
LEYBOLD HERAEUS TMP 600C
LEYBOLD HERAEUS TMP 151C
CTI-CRYOGENICS Cryo-Torr, 8"
(3) Turbo controllers
Roughing pump:
LEYBOLD HERAEUS D40B Rotary vane
LEYBOLD HERAEUS D40BCS
EDWARDS iQDP40 Dry pump
EDWARDS EH250 Blower
Gas bottle enclosure:
MFC
VCR Fittings
Does not include: Chillers, Helium compressor.
EATON NOVA/AXCELIS NV 8200P是一種先進的離子植入器和監控設備，用於微電子制造業。該系統旨在創建非常精確的設備結構,這對於當今日益復雜的電子組件至關重要。AXCELIS NV-8200P離子植入器建立在一個可擴展的平臺上，旨在滿足更高的工藝吞吐量和更高的精度。它結合了光束線技術的最新技術，實現了低損耗蝕刻和均勻的植入物分布。簡化的波束線設計還有助於減少停機時間並增加設備的使用壽命。EATON NOVA NV 8200 P具有植入角度和深度控制能力，在植入過程中提供更大的靈活性和準確性。可用於植入多種材料以及不同劑量水平。它還提供了一系列工藝參數，如束電流、離子能量、加速電壓和方向，使其成為最靈活的植入器系統之一。EATON NOVA NV 8200P監視器使用其原位光束提取機制向用戶提供實時反饋。機器測量植入物的沈積速率、離子範圍、反射厚度、束電流和能量，使用戶可以更好地控制該過程。它還可以檢測到有助於防止植入過程中產品損壞的關鍵事件。AXCELIS NV 8200P是一種領先的離子植入器和監控工具,在微電子行業設備結構的創建過程中提供了無與倫比的準確性和可重復性。其先進的特性和強大的設計使它成為那些希望創造更高質量控制的高品質產品的人的理想選擇。
還沒有評論