二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8200P #9402498 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 8200P是一種最先進的離子植入器和監視器。這種特殊的離子植入器和監控器被用於將離子植入半導體基板，然後可以用來修改和改善半導體材料的電特性。顧名思義,NOVAAXCELIS NV-8200P采用高端、高性能的AXCELIS離子源。Nova離子源設計效率很高，能夠通過應用先進的離子束優化技術產生遠光束電流和通量，同時最大限度地減少浪費。EATON NOVA NV 8200 P還擁有先進的監控系統，包括集成的實時光束監視器、粒子分布監視器和能量色散光譜儀。這種儀器組合可以精確控制光束的組成和特性，從而實現離子植入物的精確調諧和優化。NOVAAXCELIS NV 8200 P配備了廣泛的工藝能力。它能夠生產和控制硼、磷和砷植入物以及氮和氧植入物。它還能夠產生從淺到接頭和深度的各種植入物。此外，它還能夠執行各種脈沖形狀，如方波和三角波形，使大量劑量植入目標半導體基板。除了NOVAAXCELIS NV 8200P的植入和監控功能外，系統還包括可幫助確保系統精確校準的集成對準工具以及優化掃描對準，這是實現高植入產量的關鍵。EATON NOVA NV-8200P是一種高度先進和創新的離子植入器和監控器。它結合了先進的離子源、過程、監視器和比對工具，使其成為一種強大的離子植入工具，允許精確控制和優化植入參數，同時最大限度地減少浪費。這種功能廣泛、功能強大的離子植入器和監控器是許多應用的重要工具，包括高級設備制造和半導體研究。