二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #293595700 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 8250是用於半導體和薄膜加工的離子植入器和監控設備。該系統由離子槍和電子監控器組成。離子槍產生一個離子束，通常由硼或磷組成，用來將摻雜物沈積到薄膜中，而電子監測器則測量合成束的電流。該單元具有6至12 keV的寬操作電壓範圍，可以連續或脈沖操作。它配備了控制光束角度和寬度的偏轉器，以及測量光束法拉第電流的法拉第發生器，以確定薄膜的摻雜濃度。此外,該機器具有很高的容錯能力,並結合了自我診斷功能來檢測任何故障,從而能夠快速輕松地進行維護。該工具利用了多種薄膜（ZnS、TiN、SiC等）。源材料（通常是晶片）放置在源支架中,可以根據尺寸、厚度和傾斜度進行調整。光束光斑大小、電流和能量等光束參數可以調整，光束可以偏轉到不同角度，提供晶圓表面的均勻覆蓋。離子束通過靜電透鏡陣列被引導，使光束的光斑尺寸得以精細調整。資產還配備了多項保護操作員和設備的安全功能。該模型包括一個緊急沖洗設備，當檢測到異常時自動關閉電源。此外，源持有者被一個被屏蔽的盒子包圍，減少操作員對任何危險輻射的暴露。AXCELIS NV 8250是一種高度先進的離子植入器和監控系統，允許在用於半導體和薄膜加工的薄膜上進行精確可靠的摻雜沈積。該設備具有高度可調的參數和廣泛的安全特性，可以幫助操作員取得一致和可靠的結果。