二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #9361406 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 8250是一款專為半導體制造而設計的最先進的離子植入器和顯示器。這種先進的植入器利用直流電（DC）或脈沖直流離子源來提供精確的離子束控制、精確的沈積，以及用於現代、市售的半導體基板的高通量。8250具有高分辨率電阻光學掃描儀，直接安裝在植入器上，以精確監測和控制離子束電流。通過使用自動劑量計量設備和基於知識的單色成像,掃描儀還有助於確保出色的輪廓控制。通過提供離子植入物深度和系統性能的實時信息，可以保證用戶在所有過程周期中的高性能離子植入物輪廓和均勻性。8250植入器融合了高通量、低漂移源和離子源設計。這樣可以確保能量分布高度均勻,背景接近零,從而在沈積過程中實現良好的輪廓控制和可重復性。該源能夠在從50 eV到250 keV的各種離子植入物能量中運行。離子源還支持額外的多目標陣列，以支持專門的電離技術。此外，8250植入器提供了廣泛的溫度控制和過程監控。它具有溫度控制的烹飪室、蒸發爐和高精度的溫度控制單元。這確保了沈積過程中的所有參數都保持在要求的範圍內，並且在生產高質量的半導體晶片時最大限度地提高基材產量。8250機還包括具有直觀用戶界面的精密軟件。這使工程師能夠輕松地根據其特定的應用程序要求對植入器進行編程,並跟蹤工具性能。還可以從資產軟件中訪問植入深度、能量和其他參數的實時反饋。這種先進的離子植入器和監測器的設計為生產高性能半導體晶片提供了高效、可靠的解決方案。AXCELIS NV 8250從高通量、低漂移源設計到獨特的溫度控制和工藝監控，都是微型設備最先進制造的理想選擇。