二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #293745414 待售
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EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200是一款專為高性能芯片制造和測試而設計的離子植入器和顯示器。該設備使用戶能夠以更高的精度和生產控制水平將離子植入半導體基板中。它由兩個主要模塊-離子植入器和監視器組成。植入模塊內的噴射器系統能夠在植入周期內在不同工件上產生低PDS和TPH植入物。該裝置包含幾個獨立的電源，以提高血漿穩定性，改善過程控制和減少變化。此外,它還具有集成控制器和幾個專用硬件接口,可提高性能和控制能力。這樣可以提高可靠性並實現更高效的數據采集。機器的監控模塊能夠顯示實時參數以實現過程控制。它包括一個具有開環和閉環操作的控制系統，允許操作員即時改變註入參數。此外，該設備還配備了一個電阻率監視器，連接到植入物和監視器模塊，以測量和分析電阻率隨時間的變化。這有助於識別和分析植入過程中的任何異常。該裝置還配備了內置真空系統，以及大型真空室，以盡量減少汙染物，最大限度地提高空氣流通。這樣可以確保最佳的植入質量,並提高生產級別的可靠性。此外，該裝置在操作過程中不受環境波動的影響，減少了出錯的機會，提高了生產率。AXCELIS NV GSD 200是一款用途廣泛、可靠的離子植入器，是芯片制造和測試的理想選擇。
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