二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #293817965 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200是一款高性能的離子植入器和顯示器。這一尖端工具提供了離子種類的精確、可靠和準確的植入半導體底物。GSD 200離子植入器設計用於處理從晶圓到字素、金屬薄膜、納米線和其他納米結構材料的多種材料。離子植入器具有可定制的加熱系統，允許用戶設定高效植入所需的精確溫度。它具有較高的電壓能力，便於處理具有較大離子束能量擴散的納米結構，從而實現更高的植入精度。它的多區法拉第籠結構提供了一個屏蔽無關的電場和磁場以及更好的聚焦離子束。GSD 200的監控能力提供可靠和準確的過程控制，以更好的過程一致性和植入劑量的監控。該監視器可以檢測入射離子束的細微變化，提供植入劑量的精確定位。GSD 200的控制界面具有圖形用戶界面、宏編程以及大量重復進程腳本等高級功能。對植入過程的全面控制可以提高植入物的效率和更快地交付植入物。GSD 200還提供卓越的等離子體均勻性和低能擴展控制。具有良好的離子束實時調節和控制能力。它還允許用戶配置系統以補償物理布置或真空環境中的像差。GSD 200為用戶提供了用於各種植入過程的按鍵解決方案。GSD 200具有強大的設計、廣泛的適用性和先進的控制特性，是離子植入和監測的首選。