二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #9024429 待售
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已售出
ID: 9024429
Implanter, 6"
Source head: enhanced source
High voltage bushing: standard
Extraction electrode: yes
Extraction: 80 kV
Source analyzer: triple indexed mass analysis magnet & power supply
RGA resolver: N/A
RGA chamber: N/A
HYT: N/A
MER: N/A
Charge control p/n: 1168890
Post accel elect: N/A
Flag Faraday: standard
In-air wafer handling:
Automatic notch aligner (dual sensor)
6" 4-cassette table
Dummy cassette 25-slot
Vacuum cassette
Load buffer #1
In-air robot
In-vac wafer handling:
In-vac arm
Holder
Unclamp
Elevator
Gryo drive: 2-axis variable implant angle, ± 12 degrees in both axes
Disk drive type: rotary drive
Disk standard disk
Cell controller: Cell 133
Dose controller: real-time patented dose control
SUN workstation:
SUN OS
SPARC 5 (Pri)
SPARC 5 (Sec)
SMIF: N/A
Disk chiller: HX-150
Compressor: Suzuki Shokan C300H
GeF4 (high pressure): N/A
PH3: (SDS) Brooks
BF3: (SDS) unit MFC
XE: N/A
Argon (high pressure): unit MFC
RP1: Ebara 40 x 20
RP2: Ebara 40 x 20
P1: Seiko Seiki H2000C
P2: CTI OB 8
P3: CTI OB 10
IG1: hot cathode ion gauge
IG2: N/A
IG3: hot cathode ion gauge
Currently installed.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200是一種高能離子植入器和監控器，旨在生產和監控用於制造半導體元件的離子。NV GDS 200是一種可靠且先進的工具，專門設計用於將多個離子植入過程集成到一個統一的設備中，最大限度地提高生產力、準確性和效率。AXCELIS NV GSD 200配備了四門直流高能離子槍，每門都有自己的快門和獨立電源。該槍提供高達190keV的可調光束能量範圍，允許更高的噸位和更廣泛的植入功能。EATON NOVA NV-GSD-200還具有強大的原位監測器，能夠測量離子植入區的離子束均勻性和碎片濃度。此監視器測量任何能量高達190 keV的離子,以及它們的輪廓、電流、電壓和俯仰角。此外，EATON NOVA NV GSD 200配備了用於控制設置和分析數據的軟件功能。該軟件有助於優化植入過程,減少過程的可變性,並提供始終如一的高質量產品。EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-200還具有自動化維護系統,旨在使系統保持峰值性能。自動化功能包括視覺故障單元、電源自動關機和安全機器，以防止植入物過熱。總體而言,AXCELIS NV-GSD-200是一個強大而可靠的精密離子植入和監測工具.它擁有四門直流離子槍、強大的現場監視器和精密的自動化維護系統,NV-GSD-200可以實現高精度過程,減少過程的可變性,並保證一貫的高質量產品。
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