二手 EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD 200D #9268035 待售

EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD 200D
ID: 9268035
晶圓大小: 6"
High current implanter, 6" Cassette to cassette Gases: B, AS, AR.
EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD 200D是一種先進的離子植入器和監控設備,用於植入和摻雜半導體材料。它配備了多種特性,如高精度集成場二傳器、arrhenius式熱槍托溫度控制器,以及有助於確保準確有效摻雜的氣體噴嘴保護器。該系統還具有可變能量離子源,用於確保整個摻雜過程中可重復使用的劑量。AXCELIS NV-GSD 200D提供了廣泛的操作模式,每種模式都包含一組特定的參數,允許對半導體材料的植入和摻雜進行精確和精確的控制。該單元還具有獨特的兩級加速器,它允許更快、更均勻的劑量穿透,同時仍然提供對加速度參數的控制。此外,該工具的高級燈絲健康監測和反饋資產可確保快速檢測和糾正任何錯誤的對齊或波動。EATON NOVA NV-GSD 200D還具有內置的模型數據記錄功能,允許用戶實時跟蹤植入/摻雜過程的劑量和進展。使用這些報告,用戶可以輕松評估植入均勻性、總劑量和過程時間,確保過程在最佳條件下完成。此外,還可以根據個人需要定制數據記錄設置,以便在很長一段時間內管理大量植入數據。最後,NV-GSD 200D具有直觀的用戶控制功能。通過易於使用的圖形用戶界面,用戶可以快速訪問和更改所有系統參數和設置。這有助於簡化設備的操作,甚至允許新手用戶實現所需的植入和摻雜結果。總體而言,EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD 200D是一個強大的植入系統,它幫助用戶在植入和摻雜各種半導體材料的同時,實現了卓越的準確性和可重復性。它配備了多種功能,可以讓用戶自信地控制過程的充電、加速、跟蹤、溫度和壓力參數,從而產生優越、統一的效果。對於依賴植入/摻雜過程的精確度和可重復性的企業,強烈推薦使用該單元。
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