二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #162060 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 162060
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
High current ion implanter, 8"
With turnkey base
Specifications:
(25) Slots cassette
(4) cassettes capacity
ELS source head
(2) SUN Workstations
VME 177 cell controller
(2) SDS gas lines (ASH3 and PH3)
(2) HEWLETT-PACKARD Gas lines (BF3 and ARGON)
P-SHOWER Electron shower
Post acceleration high voltage, 80 KEV
Belt type rotary drive
AFFINITY Disk chiller
Variable implant angle, 2-Axis
Real time patented dose controller
STP H2000C Source turbo pump
Cryo pumps:
0B-8F P2
0B-10F P3
Compressor: 8200/8510
Monitor type: CRT
Standard GSD air robot
Power:
Total energy: 180 KEV
5E11~1E16 Ions/cm2 dose range
Throughput: 210 pieces/hour
1996 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E Ion Implanter&Monitor是一款先進的高性能離子植入器，能夠處理多種材料的高精度、大面積植入。它具有可靠、堅固的設計,並配備了廣泛的安全功能,以確保操作始終安全。AXCELIS NV-GSD-200E由高壓直流電源供電,能夠產生高達10千瓦能量的低發射光束。其精確的光束控制和精確的調節系統確保了一致的摻雜分布和精確的光束對準。該設備還集成了自動化過程控制和一整套診斷程序,有助於簡化操作並確保精確的性能。這種離子植入器專為半導體制造而設計，提供了廣泛的植入能量、廣泛的可用束電流以及可用於不同應用的離子類型。具有精準植入的高端定位能力和提供植入劑量實時控制的高分辨率光束電流監控設備。該裝置還具有精密的電子控制，以確保精確的劑量和對準以及可靠的底物處理。該裝置由電子束安全套保護，以防止對植入材料造成損害，並確保過程中的輻射安全。EATON NOVA NV-GSD 200E還具有先進的熱控制系統,使其能夠在臨時停電和環境條件的其他變化中保持一致的溫度。它結構剛性輕巧，非常適合各種工業和科學應用。簡單的維護和清晰的說明使GSD 200E易於使用和維護。此外，還可與其他設備集成，確保工作流程順暢，單位效率最高。NV-IonImplanter&Monitor是一種先進、可靠的機器，可在多種能量下進行精確、大面積的植入。它提供了廣泛的安全功能，可以與其他系統集成，使其成為工業和科學應用的理想選擇。
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