二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #163109 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E是一種高度先進的離子植入器和顯示器。它旨在提供高效、可靠、精確的摻雜劑在各種基質上的植入。機器利用離子源產生一束離子束，然後加速到所需的能量。然後，該光束通過電極指向適當的底物，在那裏摻雜離子被植入到底物材料中。AXCELIS NV-GSD-200E具有獨特的數字驅動器單元,可提供高性能、精確的離子植入效果。這種數字驅動裝置具有一個數字反饋回路，能夠以最小的光束「振蕩」實現最佳的植入效果。此外，數字驅動單元可以調整，以提供廣泛的植入能量，範圍從0.5到40 keV。機器還包括一個強大的監測設備。監視器提供每個植入物的劑量和能量的實時更新，以及過程中的底物溫度。因此，用戶可以調整植入參數，以微調植入過程，獲得最佳效果。EATON NOVA NV-GSD 200E具有真空系統，在過程中保持清潔的植入室。這個真空單元由文丘裏泵和渦輪泵組成，能夠維持10-6的壓力從-9.0到+9.0 inHg。因此,該機器可以在ISO 5類清潔室環境中使用。最後，NV-GSD-200E由於其冗余的安全和控制機器而高度安全可靠。此工具提供冗余的安全控制、警報和警告系統,以提醒用戶註意潛在的危險情況。此外，該機器的設計旨在減少和消除電弧或其他損壞基板的可能性。總之,NV GSD 200 E是一種強大可靠的離子植入器和監測器.它提供高效、準確的植入與它的數字驅動單元，而它的監控資產提供的基板的狀況實時反饋。其健壯的真空模型允許它在iso 5級潔凈室環境中使用，其冗余特性確保其用戶免受潛在危險條件的影響。