二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #293586689 待售

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ID: 293586689
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Medium current implanter, 8" Cassette to cassette Energy range: 180KeV No rough pumps Missing parts: Flow hood Lower machine front panels Power supply: 208 V, 97.0 A, 50 Hz, 3 Phase CE Marked 2004 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E是一種最先進的離子植入器和監視器。半導體制造過程中使用離子植入器,因為它負責將摻雜劑如硼、磷、砷引入基材中,以產生所需的電荷。AXCELIS的AXCELIS NV-GSD-200E模型是為生產現場構建的,可提供卓越的性能以實現最大的吞吐量。EATON NOVA NV-GSD 200E采用先進的高能束線技術,提高了精度,提高了均勻性,提高了劑量控制。這種離子植入器配備了多絲高電流Cockcroft-Walton設備,能夠向基材輸送非常大的1000A電流。這會在不同的基質上形成一致、均勻的植入物輪廓,從而帶來更好的性能。除了其先進的光束線技術外,AXCELIS NV GSD 200 E還配備了精確的光學對準系統,可以將遮罩精確放置在基材上。這確保了一個精確的植入過程與最小的掩模不對準。離子植入器還包括三維劑量圖分析儀和實時反饋回路,兩者都允許在整個過程中精確控制離子植入過程。NV-GSD-200E還配備了一個內置的監控單元,以確保植入過程平穩高效地運行。該監視器記錄過程和光束線數據,並能夠檢測離子植入過程中的任何錯誤或故障。這有助於用戶快速診斷和糾正任何問題,從而減少停機時間。總體而言,AXCELIS NV GSD 200E是一種功能強大、可靠且靈活的離子植入器和顯示器.其先進的光束線技術和光學對準工具允許一致,均勻植入和精確放置面罩。其板載監控資產有助於檢測和診斷過程中的任何錯誤,從而將停機時間保持在最低限度。AXCELIS NV GSD-200E是尋找性能、精度和控制離子植入過程的最佳選擇。
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