二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #9145264 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E是一種用於半導體器件制造的離子植入器和高能監測器。GSD 200E是一種特殊類型的離子植入器和高能監測器，用於制造集成電路和微電子器件。這種特殊的裝置是一種脈沖註入和高能監控器，具有監測的脈沖能力，能夠精確可靠地註入許多不同類型的離子。GSD 200E設計為在整個晶片上提供高均勻性，允許對植入輪廓進行精確和可重復的控制。這使其成為先進半導體器件制造的理想產品。該設備配備了一套先進的控件，包括精密電流控制、柱選擇、能量控制、過程定時和脈沖設置。這些設置允許對植入過程進行極大的靈活性和精確的控制。GSD 200E具有高性能的離子源和柱組合，用於優化離子植入。這種組合提供了將離子植入目標晶片時的高精度和精確度。此功能還可確保整個晶片上可重復且均勻的植入物輪廓。GSD 200E利用高速非接觸式信號處理和性能反饋電路對植入過程進行精確控制。該電路減少了設備的響應時間，並保持了植入物輪廓的完整性。集成的高精度電流測量系統允許精確的電流調節。GSD 200E配備了實時離子排序和阻抗匹配模塊，以優化離子植入過程的最終結果。此功能可確保只有所需類型和能級的離子才能植入晶片中。GSD 200E還包括一個用於準確監測植入過程的視覺單元。本機由高分辨率CCD相機、光源、光學濾鏡和精密成像軟件組成。該視覺工具是確保整個晶片上均勻植入物輪廓的關鍵部分。總體而言,AXCELIS NV-GSD-200E是一種強大可靠的離子植入器和高能監控器.該裝置經過專門設計，為植入過程提供精確、可重復的控制，具有高性能的離子源和柱組合，以優化最終結果。其他功能，如視覺資產和離子分選模塊，確保離子植入過程準確高效。