二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E2 #9268106 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E2是一種最先進的離子植入器和監控器,可精確控制微量離子過程。該設備專為用於半導體制造、生物醫學器件制造和高端曝光技術的超高精度植入物而設計。GSD 200E2采用了先進的高效腔離子光學器件和高壓離子源,可實現精細控制和快速脈沖操作以及高通量。該設備還包括一個先進的集成監控系統，在植入物過程中跟蹤離子脈沖特性。該單元的閉環反饋允許對植入物進行動態控制，從而實現高度準確和可重復的植入物。此外，該監視器能夠計算和記錄植入粒子的濃度，具有亞納米精度。NOVAAXCELIS GSD 200E2使用優化的冷卻機來操作,以確保穩定和一致的植入物。這種冷卻工具還有助於減少整個室內的加熱和顆粒積聚，確保每次植入都能達到理想的效果。資產還配備了旨在增加植入過程中安全性的附加功能，包括全自動腔室清洗模型和高速測量能力。該設備還具有提供各種參數數據的高精度分析系統。這包括離子動能，以及能量剖面數據和實時分析。該單元收集的數據可用於輔助流程開發，並為每個植入物的成功提供反饋。總體而言，AXCELIS NV GSD-200E2旨在提供對離子植入過程最精確的控制。這款離子植入器和顯示器配備了最新技術、集成監控和高精度分析，使其成為需要精確控制的應用的理想解決方案。