二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD A 160 #293610571 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD A 160是一款最先進的離子植入器和顯示器，旨在滿足半導體制造工藝的最先進的要求。它是業界最全面的植入器設備，與其他系統相比提供了眾多優勢。該系統提供高速的16位模擬離子電流測量，可產生高分辨率的圖像，並允許精確的離子植入和優化的植入周長（OIP）。AXCELIS NV-GSD-A-160配備了一個可調高壓平臺和一個1.87米長的矩形基板支架，帶有2個可伸縮的光束軸，允許精確的雙軸植入。EATON NOVA NV GSD-A-160還提供了一整套診斷工具和測量儀器來評估工藝性能。NV GSD A 160具有高分辨率成像單元、高壓平臺和雙軸植入機三大特點。該成像工具由100微米分辨率CCD芯片和先進的轉角轉向光學器件組成，可提供最詳細的離子植入預覽。它還提供了一種OIP功能，可用於精確控制劑量和能量分布。高壓平臺能夠操作高達50千伏，在使用較大的離子束時提供了良好的控制程度。兩軸註入資產允許一次註入四個離子軸，每組四個軸包括x、y、z和theta軸。它還帶有全運動控制和過程監控，提供對植入過程的全面控制。最後,NV-GSD-A-160還提供了廣泛的診斷和監視選項。它配備了一個監護模型來監控硬件和軟件性能的各個方面，以及一個離子植入物診斷（IID）工具，可以用來確定離子束的配置和能級。該設備還提供了一套全面的測量儀器和工具來分析植入過程。總體而言，AXCELIS NV GSD A 160是進行先進半導體制造工藝的理想工具。擁有高分辨率成像系統、可調高壓平臺、雙軸植入單元和綜合診斷工具集，提供了復雜植入所需的所有功能。通過提供全面的控制方法,EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-160可以幫助您的制造業務獲得顯著優勢。