二手 EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-A-80 #9226069 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-80離子植入器和監控器是一種用於將離子植入半導體材料的高精度工具。是一種全自動設備，可用於單晶片或批量植入。該系統采用先進的電子和真空技術,使其能夠保持高精度和高精度,同時一次提供高達80 kW的能量。它是當今市場上最先進的植入系統之一。AXCELIS NV-GSD-A-80具有最先進的控制單元,可完全控制植入物參數,包括能量、電場、離子劑量率、摻雜類型和水平、斑點大小和漸進掃描。這允許對半導體制造中使用的各種材料進行極其精確的植入。EATON NOVA NV-GSD-A-80還配備了自動調節快門機,無需手動調節。該工具還配備了全面、綜合的監測資產，有助於確保流程可重復性和可重復的流程結果。這種監測模型包括一系列傳感器，以提供光束強度、電流、功率、能量、電壓、溫度、時間和附加參數的反饋。它還包括一個高級監視GUI,它提供參數的可視化表示,並允許在必要時快速調整。ATI AXCELIS集成植入設備還配備了先進的冷卻系統，有助於保持植入過程的最佳溫度。這種冷卻裝置有助於提高植入過程的準確性和可重復性，並有助於減少停機時間。NV-GSD-A-80是一種通用工具，可用於各種應用，包括結摻雜、接觸摻雜、外延位點摻雜、濺射和電鍍。它也非常適合於廣泛的材料，包括矽、砷化​​氙、磷化氙以及半導體制造中使用的多種其他材料。總體而言,EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-80是一款先進的全自動離子植入器和顯示器,專為高精度植入各種半導體材料而設計。該機器提供了全面的控制、集成的監控工具、先進的冷卻資產以及全面的GUI,以實現更快的數據分析。這使得可重復、高質量的處理結果和改進的過程控制成為可能。