二手 EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-A-80 #9239611 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-80是一種先進的高性能離子植入器和監控設備,它結合了可靠的精密植入技術和高度靈活、復雜的監控系統。這個獨特的單元提供了比其他系統更快的周期/秒和更高的精度，同時還提供了植入物範圍、屏蔽要求和氣體輸送方面的更大靈活性。離子植入器是將材料植入半導體基板過程中的第一步。AXCELIS NV-GSD-A-80旨在為半導體晶片基板上存在的精確圖樣特征提供高度精確的離子註入水平。它能夠植入一系列的摻雜劑，包括磷、砷、硼、她的銨、移植物，以及不含摻雜劑的底物。EATON NOVA NV-GSD-A-80配備了強大的磁鐵，可以在給定的能量水平上對光束弧角和速度進行高水平的控制。這樣可以確保晶圓表面的最佳植入深度和均勻性。此外，其先進的冷卻機有助於最大限度地減少熱引起的傷害。Ion Implanter的設計目的是通過一個有效的操作程序創建一個均勻分布的植入材料。它還具有先進的磁透鏡技術，以提高光束方向精度。光束控制由Total Radiation Defect Control （TRD）軟件管理。該軟件旨在讓植入器工具快速適應不斷變化的底物成分、圖案和深度。Ion Implment Monitor能夠實時監控植入物參數和底物，以確保資產提供可靠、安全、可重復的植入物。監視器使用高級檢測器來測量廣泛的參數，包括摻雜水平、各向異性、熱影響和厚度。這有助於分析植入物的結果,並有助於確保光刻的準確性.NV-GSD-A-80是一個可靠和高效的離子植入器和監控模型。它提供了精密植入技術、磁透鏡、TRD軟件和高級監控功能等一系列功能和技術，使其能夠高效生產高精度和可重復性水平的高性能植入物。因此，它是半導體制造應用的理想選擇。