二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD #293637189 待售

EATON NOVA / AXCELIS NV GSD
ID: 293637189
晶圓大小: 8"
優質的: 1993
High current implanter, 8" Chamber 1993 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD是一款先進的離子植入器和監視器,旨在在離子植入應用中提供卓越的性能。以最佳的設計和可靠的操作,GSD可以確保精確和可重復的植入精確和可重現的劑量。GSD是滿足各種應用需求的理想解決方案,包括半導體器件制造、光學材料制造、有機和無機材料精加工等。AXCELIS NV GSD具有先進的離子源控制功能,允許精確精確的劑量控制。這種控制設備提供精確的控制,以減少光束缺陷和提高精度,允許精確和可重復植入。此外,GSD還提供了一種高分辨率量表(HRVM),用於監測植入物濃度和檢測光束中的幹擾。EATON NOVA NV-GSD還通過其集成陣列充電系統(ACS)和輻射陣列單元(RAS)提供了高度的靈活性和準確性。ACS旨在提供對離子種類和劑量的精確控制,從而能夠選擇最佳的植入物參數,從而提高性能和可靠性。RAS是一種先進的機器,提供準確和可重復的植入時間,使各種基材和材料的精確控制。NV GSD配備了視頻觸發工具(VTR),允許對網格進行高速成像。即使植入條件不同,這種資產也能確保精確準確的操作。此外,GSD還配備了用戶友好的GUI和運行時界面,允許輕松直觀的操作。AXCELIS NV-GSD是一個完全集成的模型,具有輔助控制、遠程控制和數據記錄等高級功能。這樣可以全面控制植入參數和過程,包括溫度控制、光束控制、停留時間控制等。GSD也是可擴展的,允許用戶自定義設置以滿足其特定要求。NV-GSD的高級功能,加上其卓越的性能,使其成為任何離子植入應用的理想選擇。憑借其強大可靠的特點和優越的性能,即使是最具挑戰性的材料也能可靠地準確地植入。對於任何需要精確和可重復離子植入的應用,EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD是理想的解決方案。
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