二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD #293817741 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD是一種最先進的離子植入器和監控設備,旨在最大限度地提高設備制造的精度和效率。它采用了強大的DC/RF雙模光束輸送系統和RF/DC電極構型的創新組合，以極好的簡便和精確地準確地沈積和監測離子劑量。該單元為用戶定義和出廠配置的配方提供了一個統一、用戶友好的界面,可通過100%的清潔空間兼容操作和其他需要超高純度生產的地方確保一致、可重復的性能。直觀的GUI允許在高度控制、方便和安心的情況下進行斷電和通電操作。自校準機允許操作員精確快速地調節離子劑量、束電流等工藝參數，達到理想的器件性能。它的專有警報和警報監視性能級別,並提醒用戶有任何偏離所需目標的情況。此外,該工具的高級光學器件還提供動態光束輪廓和自動對準功能,以確保一致、準確的植入結果。AXCELIS NV GSD還提供一系列診斷和分析工具,確保最大效率和過程完整性。這些包括總劑量測試和DC/RF能量控制檢查以驗證嵌入性能，以及晶圓批次和晶圓計數分析。還有一套綜合的均勻性測試，用於蒸發和植入物的應用。EATON NOVA NV-GSD提供了一系列令人印象深刻的高級特性和功能。它是可用於經濟高效、準確的離子註入和監測的最先進的系統之一。因此，它可以部署用於各種設備，從半導體芯片和集成電路組件到通信系統和醫療電子。此外，它還配備了必要的安全特性，滿足了嚴格工業生產的所有要求。