二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII-90 #9059238 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII-90是一種用於高精度植入和均質晶圓覆蓋的離子植入器和顯示器。廣泛應用於半導體工業的多種應用。該裝置具有90 keV的最小受體供應，提供了運動中離子劑量的最佳精度和均勻性。100 uA至1mA離子束電流範圍可確保高植入性能。這是由設備的專利篩選電子槍和自動高音中斷模式成為可能。此外,還提供多種光束對齊選項,包括一維、二維和可編程掃描,從而實現精確和精確的陣列植入。AXCELIS NV GSDIII 90具有實時的鏡頭結束監視器和功能，提供植入參數的實時評估。此特性還有助於控制多普勒拓寬，改善晶圓均勻性結果。該監視器還具有總植入物質量（TIM）計算功能,允許用戶優化劑量和輪廓參數並輕松驗證結果。該裝置還設有一個自動加速器安全系統，包括一個電動機旋轉批，和一個慣性阻尼系統，以減少弧和濺射。此外，共有八個獨立的端口可用於靈活支持氣體和加工氣體。而且，EATON NOVA NV-GSDIII-90支持多種摻雜劑，最多可處理16種不同的摻雜水平。它還配備了自潔技術和限位探測器，以確保安全的工作環境。EATON NOVA NV GSDIII-90是一種可靠、高精度的離子植入器/顯示器.它具有強大的90 keV最小接收器供應量和廣泛的處理選項,允許用戶實現同質、高精度的結果。設備的高級監控和自動化系統確保了安全高效的操作。