二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII LE #9083650 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII LE離子植入器和監測器是一種精密的工具，有助於將精確控制劑量的離子傳遞到材料中以改變其物理性質。這種工藝常用於半導體工業的器件制造。AXCELIS NV GSDIII LE利用離子源生成離子。然後加速這些離子並進行質量分析，根據所需的植入物劑量和能量產生能量擴散。此外，GSDIII LE采用多室設計，進一步提高了植入過程的精度和精度。GSDIII LE配備了最先進的監測儀器。這些監視器設計用於檢測溫度、電壓和電流的微小變化-所有這些都會影響離子註入過程的質量。模擬和數字控制系統是精確和準確的，以確保所有進程都按照預期的確切方式進行。除了提供卓越的控制和準確度外，EATON NOVA NV GSDIII LE還提供了可調劑量率。這使得它能夠完全滿足各種半導體應用的要求。廣泛的劑量率允許各種芯片設計的最佳量身定制植入時間表。此外，利用模塊化結構，這個系統很容易定制，以適應用戶的獨特需求。NV GSDIII LE還具有多種安全功能，以確保用戶的保護。這些特點包括保護屏蔽，以減少激光和離子束暴露，以及大量的安全聯鎖。此外，設計還包括一個維護油煙罩，以排出離子植入過程產生的煙霧。EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII LE是一種可靠而全面的離子植入和監測工具。其精密的控制系統、可調劑量率和安全特性使其成為各種半導體器件的理想選擇。此外,它的模塊化結構和易於定制,使其成為許多應用程序的通用設備。