二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII LE #9083651 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII LE是半導體工業中使用的離子植入工具和監測器。該裝置提供對植入參數的精確控制，以達到高精度結果。該設備能夠精確控制光束電流、能量、植入物種類和深度剖面，為設備應用提供最佳結構。該系統由高壓電源、阻尼器、擴展器和分離器模塊組成，以及目標籠、氣體分配單元、射頻發生器、快門、顯示器和溫度/壓力控制器。這確保了植入過程的最佳環境。電源能夠提供高達1,000 kW的功率,並具有廣泛的電壓調節範圍。這允許離子束的快速加速和植入物表面的精確控制。阻尼器和擴展器模塊控制著入射光束的特性，有助於最大限度地減少由於不可控制的源不穩定而導致的過程變異性。分離器模塊有效地去除不需要的雙離子，減少植入物的汙染。目標籠子裝有要植入的裝置，由能承受高溫高壓的剛性材料制成。氣體分配機為離子植入過程提供了均勻的環境。射頻發生器控制重離子從源向目標的傳輸。快門模塊調節植入物區域的光線水平，並最大限度地減少對植入過程的幹擾。顯示器對植入的晶片進行連續監控,以確保性能正常。溫度/壓力控制器可以在目標環境內保持精確的溫度和壓力，允許最佳的植入結果。AXCELIS NV GSDIII LE是一種強大而精確的離子植入和監測工具。這種裝置在半導體工業中使用，能夠以最小的中斷持續提供可靠的結果。它對植入物參數的精確控制確保了成功的設備結構進行處理。該工具允許可靠和高效的植入過程,有助於提高生產率和質量。