二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII #293762494 待售

Eaton/NovaEaton NOVA/AXCELIS NV GSDIII離子植入器和監視器是一種功能強大、用途廣泛的植入設備，用於制造先進的設備技術。該系統旨在提供對摻雜劑和摻雜劑物種的極其精確和可重復的植入，以及對植入物種的精確監測。GSDIII是一個四軸單元，允許計算機完全控制植入參數，包括光束能量、劑量和目標上的形狀。該機器利用一個超低真空室與全場離子植入器，產生非常低劑量的物種，同時仍然保持所需的植入輪廓。腔室加熱有助於穩定環境，另外還有一個氣體歧管，為進一步控制植入環境提供準確穩定的氣流。此外，還有各種各樣的基板處理構型和階段，允許植入各種各樣的基板。GSDIII采用現代數字接口設計，可方便設置和控制植入過程。這包括植入配置文件的直觀圖形顯示,以及詳細的數據記錄和配置文件的自動存檔,以便以後輕松訪問。該工具通過在植入室中監測光束的能量、劑量和形狀來提供植入物種的精確反饋。通過使用來自監視器的傳感器反饋，操作員可以確保植入按照需要進行，必要時可以重新調整參數。GSDIII資產的綜合控制，結合其高效有力的設計，使其成為各種植入活動植入的最佳選擇。該模型可靠性高，易於維修，確保最大滲透效率。強大的設計和用戶友好的界面使設備成為可靠、真正先進的植入技術解決方案。