二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293760169 待售
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EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitor是一款高端植入和監控設備，設計用於半導體行業。適用於中高劑量生產應用，提供高通量和高分辨率劑量異質性。NovaAXCELIS Optima HD系統配備高壓電源，以及高度優化的波束控制邏輯和多級波束滾動裝置。這允許在X-Y平面中精確和非振蕩的離子束通道,以及用於實現劑量均勻性的Z軸。該裝置還具有擴展的控制風險評估和無缺陷植入能力，提供高工藝可靠性。此外,NovaEaton NOVA Optima HD機器還提供了增強的植入能力,能夠實現高精度的廣泛劑量深度。NovaOptima HD工具還包括一個監視器資產,其中包括幾個增強監控準確性的功能。其中包括實時、全自動的波束輪廓監視器、具有多個網格的自動波束輪廓監視器和穩態電流監視器。此外，模型中還集成了許多監視器，如光束自診斷和真空泄漏監測。NovaEATON NOVA/AXCELIS Optima HD設備的其他特點還包括一個光束卸載系統，以協助植入室的裝卸。該單元還提供了堅固的接地機、高壓關閉保護裝置、集成的安全聯鎖監控以及集成的粒子探測器。最後,AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitor是一款功能強大、可靠的植入工具,具有多種功能,可確保植入質量和高通量生產。所包括的監測資產和附加功能進一步保證了準確性和可靠性，同時又具有成本效益並符合半導體行業標準。
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