二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293760175 待售

AXCELIS/Acelis EATON NOVA/AXCELIS Optima HD是下一代離子植入器和顯示器,在單個集成產品中提供增強的性能、靈活性和可靠性。這種設備的設計具有獨特的專業知識和技術，以最大限度地提高效率和產量，同時提供最大的光束均勻性。AXCELIS Optima HD具有雙離子源技術,允許在各種植入物濃度下更快、更高效地生產。自動化傳輸增強了系統的吞吐量能力,同時減少了停機時間。該單元的設計具有最佳的靈活性,允許自定義可編程性、高級故障檢測以及一組統一的用戶界面。EATON NOVA Optima HD能夠對300 mm x 300 mm晶圓進行高分辨率掃描。這臺機器能夠持續保持一個緊密的光束光斑大小低至0.3mm。它也被設計為盡量減少反射的不利影響，將較少的粒子引入植入過程。該工具還具有均勻性控制功能,允許均勻分布高達4.5%。EATON NOVA/AcelisOptima HD配備了幾項高級安全功能。離子源溫度範圍自動監控，保持在最佳範圍內，以保證安全運行。此外，該資產還具有閉環監控功能，可降低光束從目標散射的風險。此型號還設計為易於使用。用戶界面可以通過USB重新定位器或PLC接口進行編程，這使得操作比以往任何時候都更加方便。該設備還具有自我診斷功能,可以在用戶出現問題之前提醒他們註意潛在的問題。與EATON NOVA/AXCELIS Optima HD配合使用,由於其低振動和低聲級,因此具有極小的侵入性。這使得植入過程更安靜、更方便，可以提高生產力。該系統具有堅固耐用的部件,包括一系列可靠的光束偏轉器,可提供長達10年的使用壽命,因此其設計壽命令人難以置信。EATON NOVA/AXCELIS/Acelis AXCELIS Optima HD是一款功能強大且可靠的離子植入器和顯示器。其雙離子源技術和自動化運輸特性提高了效率，而先進的安全功能保證了穩定安全的運行。該裝置設計方便，生產高效，是植入物研究的理想選擇。