二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9235241 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD是一種高性能離子植入器和顯示器,通常用於微電子制造。它能夠精確、過程驅動的功率控制，提供卓越的離子束均勻性。它提供了多種光束源，可用於植入大面積基質，提供高度均勻的植入能量和深度劑量，而不會降低薄膜性能。AXCELIS Optima HD是一款功能強大、靈活的離子植入器,能夠為各種應用程序提供通用的操作和實現。它具有可編程控制的高速光束，為先進設備提供精確、均勻的摻雜輪廓。它可以用於從植入超厚膜到用於高速應用的薄膜的一切，並且可以針對各種各樣的離子型、能量和劑量要求進行優化。該設備還具有用於大面積基板植入的動態掃描系統，它提供了更深、更均勻的輪廓。該裝置能夠以最小的能量損失在大面積上提供大劑量，提供更好的植入物均勻性和深度劑量精度。它還允許最多六個不同的來源被用於多種離子類型的'多組分'植入，提供高度的離子植入靈活性和優化。EATON NOVA Optima HD還配備了多項用戶友好功能,可簡化維護、增加正常運行時間並提高工作效率。其中包括一臺自動機器,用於監控主光束功率、光束線環境條件和真空壓力,同時還提供對高溫事件或回流的即時響應。它還提供了先進的冷卻工具和運動控制技術,可確保改善梁的均勻性和工藝輸出,同時最大限度地減少不平衡。Optima HD是植入半導體器件的優化資產,提供可靠、準確的劑量和深度分布以及高分辨率成像和過程控制。是適用於MEMS、NEMS、醫療應用等先進技術的解決方案，為可靠性和性能而設計。對於那些希望提高產量和提高生產過程吞吐量的人來說，這個模型是一個理想的選擇。