二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9244859 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD是一種組合離子植入器和監視器，用於半導體材料加工。這臺先進的設備設有低能端子、帶遙控的掃描電子顯微鏡、X射線熒光光譜儀和三軸樣品定位儀。AXCELIS Optima HD還裝有用於檢測樣品表面發光的NaI閃爍體，以及用於測量電流的電子顯微鏡型探測器。所有這些成分使EATON NOVA Optima HD能夠準確地將精確劑量的離子輸送到樣品材料中。低能終端配備了先進的特性，允許在植入過程中精確控制光束能量。該終端還具有電源、電流控制、溫度控制系統、閘閥控制單元等其他功能範圍。與Optima HD的所有組件一樣,低能耗終端功能的設計也是為了獲得最佳性能。掃描電子顯微鏡（SEM）也配備了先進的功能。它包括一個5軸控制和一套全面的圖像形成系統，可以用來收集關於樣品材料的關鍵信息。它還可以容納各種樣本幾何形狀。此外,SEM還鏈接到計算機控制機器以實現遠程操作。X射線熒光光譜儀確保在植入過程中對摻雜劑和汙染物的精確控制。它利用線性加速器產生高聚焦、高能X射線束穿透樣品材料並檢測材料的特征性能量響應。然後收集和分析這些數據以確保精確植入。三軸樣品定位器允許對樣品材料進行精確操作，確保其正確定位，以實現最佳的植入精度。它具有對樣品材料位置的精確空間控制，可以容納各種各樣的樣品幾何形狀。最後，EATON NOVA/AXCELIS Optima HD還附帶了一個NaI閃爍體，用於檢測樣品表面發出的光。這使得工具能夠準確監控植入過程，而無需手動監控樣品。這反過來又進一步確保了植入精度的最高水平。總體而言,AXCELIS Optima HD離子植入器和顯示器是一項精密而強大的資產。它的高級功能和組件允許精確植入樣品材料,最終確保一致的產量和可靠的產品性能。