二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9262050 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitor是一款用途廣泛的下一代植入器和顯示器,旨在幫助提高工作效率,同時實現卓越的光束均勻性、晶片質量和一致性。這款離子植入器在半導體行業樹立了新的性能和可靠性水平，利用先進的光束技術和直觀的軟硬件特性的創新組合。Optima HX Implanter具有具有雙等離子體擴展的專有雙源OptiSource™離子源。這使得兩種不同類型的離子--無論是正離子還是負離子--能夠從每一個來源同時植入，從而實現最高生產率的離子植入。這種先進的源代碼也比傳統源代碼少得多，便於維護和控制。該源被獨特的提取柵極技術所包圍，該技術確保了離子的可靠提取，並在晶圓表面提供了一致的均勻性。AXCELIS Optima HD顯示器提供卓越的監控能力,包括光束電流控制、光斑大小和形狀監控以及粒度測量。此監視器捕獲植入晶片區域的100%,並通過獨特的視覺系統檢測植入過程中的任何變化。該系統使用智能攝像頭來捕捉植入部位的圖像並評估這些植入物的質量。Optima HX植入器和顯示器由AXCELIS UNICUS™ Process Control Software提供支持,它提供了一個具有復雜分析功能的現代化平臺。這款行業領先的軟件讓運營商在影響產品收益率之前，跟蹤和趨勢每項工作的狀態，發現潛在問題，並實施糾正措施。總體而言,來自EATON NOVA的EATON NOVA Optima HD是尋求提高生產效率、卓越植入物均勻性和改進產品質量的半導體鑄造廠的理想解決方案。這款新一代植入器和監視器將高級源和監視器技術、直觀的控制軟件以及強大的過程控制功能結合到一個平臺中,所有這些都使客戶能夠快速可靠地在其生產線中實現最高級別的性能和可靠性。