二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9311204 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD是一款最先進的離子植入器和顯示器,旨在幫助您的半導體處理操作平穩高效地運行。AXCELIS Optima HD具有高達60 kW的開場操作和廣泛的光束掃描速度,可以達到高深度的植入,並具有高通量。這樣,您就可以快速準確地執行對設備性能至關重要的復雜植入物。EATON NOVA Optima HD獲得專利的雙光束掃描系統允許精確的光束控制,包括頻率、光斑大小、功率和劑量。它還配備了AI驅動的TransVoltage Control System （TVCS）來調整電壓狀態,以優化植入控制。通過將選定的植入物配方與晶圓上的實際試驗條件相匹配,Optima HD可以最大限度地減少超出範圍的離子,同時仍能提供所需的配方效果。EATON NOVA/AXCELIS Optima HD還具有先進的自動電離控制功能,通過跟蹤和校正由於溫度、壓力等原因在植入過程中發生的變化,使離子保持穩定。它內置了晶片產品的過程監控和記錄,可提供重要的反饋並允許您更好地控制和優化過程,同時最大限度地提高效率。AXCELIS Optima HD配備了高分辨率顯示器,可實時可視化離子註入,並確保該過程遵循指定的配方。該監視器允許您微調植入參數,並為統計過程控制提供全面的數據。它還允許您輕松地發現任何植入缺陷,如孔、尖峰或扭曲的波形,並自動調整設置以糾正這些缺陷。EATON NOVA Optima HD符合工業安全規格,配備了無可挑剔的安全系統,包括安全互鎖和緊急停止按鈕。它也有免維護的離子源，不用擔心定期維護或更換費用。Optima HD還擁有PTW-4GB軟件,其中包括標準配方開發工具、詳細分析和報告以及直觀的操作員界面。簡而言之，EATON NOVA/AXCELIS Optima HD是一款先進可靠的離子植入器和顯示器，具有尖端功能。它是半導體加工操作的理想選擇，因為它能夠以最佳的工藝控制和最低的維護成本實現精確高效的植入。