二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9353491 待售
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ID: 9353491
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
High current ion implanter, 12"
No Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitor是一款先進可靠的離子植入機,專為滿足半導體行業最苛刻的要求而設計。它是一種機器人輔助設備,使高端植入能夠以高精度提供優異的產量。AXCELIS Optima HD利用真空系統,包括集成的自動化壓力和溫度管理單元。該植入器還利用高壓電源和先進的磁控管源設計,提高離子植入精度和性能。此外,集成的電子控制機有助於確保在整個植入過程中保持一致的劑量控制。EATON NOVA Optima HD配備了先進的光束線和自動化的光束傳輸工具。這確保了植入離子的精確和高效的傳遞。該機還設計用於最小化死區,提高植入均勻性。Optima HD監視和記錄植入過程的每個步驟,允許操作員實時查看數據。該工具還允許操作員自動化某些過程,如植入參數的控制和植入條件的選擇。這使用戶能夠最大限度地提高產量,並確保每個植入晶片的產量達到最佳。EATON NOVA/AXCELIS Optima HD離子植入器旨在滿足行業最嚴格的要求,並提供高端植入性能。它能夠植入廣泛的離子,包括q型離子、高能離子和低能離子。其集成的激光互鎖資產確保了最大的安全性,並通過了ISO 22301和USIOC-N10認證。AXCELIS Optima HD的設計和開發符合最高質量標準,為先進的半導體應用提供高性能的植入解決方案。其可靠的離子源、先進的束線、自動傳輸模型以及集成的監控和記錄能力,使其成為半導體制造商苛刻要求的絕佳選擇。
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