二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9282114 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX是一種用於半導體器件制造的離子植入器和監控技術。它是一種高壓、直接驅動的離子植入器，設計用於在將離子植入IC結構時提供卓越的速度、可靠性和準確性。AXCELIS Optima HDX用於半導體器件制造過程中的關鍵處理步驟，如介電層沈積、源植入和重摻雜。EATON NOVA Optima HDX的工作原理是將摻雜離子從離子源加載到等離子體加速器中，然後將離子加速到高能，精確地引導到所需的基板上。這種源到基板的傳遞通常是由一系列脈沖和掃描磁性透鏡完成的，這導致了針對給定材料層優化的窄光束。Optima HDX具有先進的控制算法，可以限制脫靶沈積和控制植入後離子束軌跡。這確保了設備制造的準確性和可重復性。EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX還提供了可以測量和跟蹤離子植入過程的高級監控系統。這些系統使用多種傳感器，如電流傳感器、壓力傳感器和位置傳感器，實時測量離子和基板層的特性。這確保了離子劑量、離子速度和離子束大小在給定的應用中得到優化。對AXCELIS Optima HDX進行了卓越的可靠性和準確性測試。其先進的監測系統經過設計，能夠對離子束進行精確控制，並確保最高水平的性能。EATON NOVA Optima HDX可以以最有效的方式運行,以提供更高的質量、吞吐量和產量。總而言之，Optima HDX是一款高度先進、精密的直接驅動離子植入器和監視器，旨在精確控制離子植入過程，並提供最佳精度、速度和可靠性。Eaton NOVA/AXCELIS Optima HDX具有先進的優化功能,非常適合半導體器件制造的苛刻要求。