二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9355276 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX是一種離子植入器和顯示器，用於生產半導體器件。它是一個先進的工具，既提供高速植入和精確監測植入過程。設備配有專有光束線和高端植入頭組合，提供了廣泛的植入特性。AXCELIS Optima HDX可以產生廣泛的離子種類和劑量範圍，有瓦數、脈沖和束線可調諧的選擇。這允許對植入過程進行更大的控制，為用戶提供更多的植入參數變化和更高效的植入會話。EATON NOVA Optima HDX具有獲得專利的三層閉環監視器,旨在提供植入者精確控制植入過程所需的所有必要反饋。該監視器能夠收集植入晶片上的數據，並配備了先進的過濾器來檢測植入器參數中的任何異常，同時確保數據的準確性。Optima HDX還包括多階段自動化，包括軟件以實現系統的輕松和自動操作。該單元包括針對大量晶圓的自動批量編程，以及用於提高產率的綜合統計過程控制。此外,EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX機器還具有多種安全功能,可確保人員和設備的安全。這包括一個安全聯鎖工具，除非滿足所有安全參數，否則不會啟動任何植入程序。資產還包括檢測硬件和軟件錯誤的自我診斷，以及檢測和消除空氣中顆粒汙染的先進汙染控制模型。AXCELIS Optima HDX是一款功能強大且可靠性很高的設備，提供先進的植入控制、廣泛的植入特性和強大的監控功能，從而實現一致可靠的結果。該系統可以幫助提高植入產量和降低成本，使其成為商業半導體制造的理想選擇。