二手 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDxT #9115399 待售

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDxT是一款高性能、高度可靠的離子植入器和顯示器。它旨在提供一致且可重復的離子註入矽片等半導體基板。該設備的高吞吐量支持半導體處理能力,這對許多技術先進的應用至關重要。它為各種尺寸和材料的基材的加工提供了極好的靈活性，其先進的離子源設計確保了植入過程中高度的可重復性和準確性。AXCELIS Optima HDxT采用了雙極離子源設計，使系統能夠適應於多種離子種類的使用，包括As、P、B等。它還支持多種能量，包括低能量植入以及高能離子植入（HEII）。利用強大的光束傳輸裝置，該機器能夠產生高精度的植入物，並在得到的基板上保持高度的均勻性。為確保精確植入精度,EATON NOVA Optima HDxT還具有先進的溫度控制功能。Optima HDxT還具有高級流程控制和診斷系統,以及高級集成分析和報告生成功能。憑借其先進的工藝控制，用戶可以在整個植入過程中輕松監控和管理自己的工藝參數，包括離子植入能量、電流、束斑大小等。此外,該工具還支持全面的校準和診斷例程,允許無與倫比的數據采集和分析功能。此外,EATON NOVA/AXCELIS Optima HDxT還包括一個高級集成監控資產,用戶可以在植入過程的每個步驟中監控和調整參數。此模型不僅有助於確保精確的植入精度,而且允許用戶根據特定應用程序的需要輕松優化過程。最後，設備還包括一整套綜合安全功能，有助於確保過程的安全和可靠性。綜上所述，AXCELIS Optima HDxT是一款高性能、高度可靠的離子植入器和顯示器。它支持各種離子種類和能量，具有先進的溫度控制和過程控制系統，並利用一整套綜合的診斷和安全特性。EATON NOVA Optima HDxT通過其先進的監控系統和用戶友好的校準和測試程序,為各種半導體處理應用程序提供了可靠的植入精度、可重復性和統一性。