二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9222810 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE是一款先進的離子植入器和監控設備。它旨在為先進的半導體器件制造和生產提供最先進的離子註入技術。AXCELIS Paradigm XE集成了專門設計的高級硬件和軟件功能,以實現最高程度的過程控制以及精確、可重復植入劑量的精確交付。該系統由三個主要模塊組成：高壓電源、離子植入器和離子束監視器。高壓電源（HVPS）是EATON NOVA Paradigm XE單元的心臟，負責創造加速光束中離子所需的電力。植入器利用這些電源提供的電力來產生一束離子束並將其輸送到樣品中，然後將其植入基板中。最後，采用離子束監控器對植入過程中的光束參數進行監測，保證了該過程的可靠性和可重復性。範式XE機配備了廣泛的控制和參數設置。這些設置允許用戶調整離子植入參數以匹配所需的設備制造規範。可以調整光束電流監測範圍、穩定壓力控制、單陽極或多陽極選擇、光束功率控制、遊標選擇等方面，實現器件的優化制造。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE還配備了全面的安全功能，以確保隨時安全運行。該工具將在發生故障時自動關閉光束電源，集成安全資產將監控所有關鍵參數，以保護操作員和設備免受潛在傷害。除了其先進的功能外，AXCELIS Paradigm XE模型也是為了易於使用而設計的。所有控件和設置都在控制臺上清晰顯示,可以通過按下按鈕進行調整。這使得設備適合任何經驗級別的操作員使用。EATON NOVA Paradigm XE是一種先進的離子植入器和監控系統。它為用戶提供了廣泛的控制和參數設置，以及全面的安全功能。它還具有直觀的用戶界面，使得它非常適合任何體驗級別的操作員。範式XE是先進半導體器件制造和生產的理想選擇。