二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9241171 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE是一款先進的離子植入器和監控器，支持離子植入和灰化過程，用於廣泛的半導體和相關應用。利用創新技術，AXCELIS Paradigm XE提供了一系列功能，確保了準確和一致的離子植入。EATON NOVA Paradigm XE通過其先進的汙染控制技術提供了高效的im-plantation系統。高效過濾模塊利用顆粒保留技術，通過有效清除工藝室內的顆粒和殘留氣體汙染物，確保等離子體和加工氣體的清潔度。精密的圓柱形等離子體源提供了更高的離子束均勻性，並提供了高線性電流，可以精確控制雜質剖面。先進的範式XE還具有先進的計算機控制技術，以實現最高的光束重叠精度，以及在基材中精確放置雜質。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE的靈活配置元件保證與各種類型的晶圓配置以及許多其他元件兼容，包括可變軸空間偏轉器、剝離棒、輸出級線化器和直流磁控管源。此外,板載診斷軟件包允許快速設置植入參數,並允許對設備進行完全控制。先進的AXCELIS範式XE還提供了一個材料處理監控套件，其中包括廣泛繪制基板電阻率和均勻性的繪圖。它還提供了自動數據采集和圖形生成，以跟蹤多個離子植入參數隨著時間的推移。EATON NOVA Paradigm XE為各種離子植入及相關過程提供了高效的植入系統。其創新技術有助於最大限度地提高設備精度和效率，同時為清潔工藝室提供改進的光束均勻性和對雜質剖面的精確控制。此外,靈活的配置組件和監控套件可確保兼容性和監控數據,從而提供最高的植入精度。