二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9241296 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE是一種離子植入器和監視器，旨在確保精確準確的離子植入。AXCELIS Paradigm XE是一種高性能的離子植入器和顯示器,為各種半導體工藝提供了最佳的靈活性和效率。適合300毫米晶圓尺寸的生產控制，最大加速電壓高達80 keV。EATON NOVA Paradigm XE具有獨特的多光束設備,可在晶圓表面均勻分布顆粒。這是通過使用至少八個單獨的植入器炮梁來實現的。這些光束中的每一個都有一個單獨的驅動機構，它可以使用戶以全範圍的可調整性精確控制光束強度和掃描速度。此外,此系統還提供各種高級工藝控制,例如超步進梁控制。範式XE具有多種安全和環境特性。該單元設計符合粒子排放方面最嚴格的標準，符合現行行業標準。該裝置還利用先進的過濾和有限的源相互作用機制。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE的性能和成功關鍵在於集成電子產品包。這個軟件包包括一個先進的可重復植入控制單元以及一系列的監控和光學系統。集成電子傳輸機的設計是為了保證最高效的結果，而光學監控工具則為用戶提供實時反饋。總體而言,AXCELIS Paradigm XE是一款先進的離子植入器和顯示器,旨在提供最佳性能。通過利用最新的粒子束技術，該裝置確保了一致和準確的結果，同時提供了廣泛的過程控制選項。集成的電子封裝確保了可靠和可重復的植入性能，而先進的過濾機制確保了低顆粒排放水平。簡而言之，EATON NOVA Paradigm XE是用於半導體應用的理想的高性能解決方案。