二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9282115 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE是為離子植入而設計的晶圓處理設備。該系統能夠加工復雜先進的半導體制造材料。它結合了傳統的離子植入與自我調節技術的魯棒性。AXCELIS Paradigm XE單元通過高端顯示器提供從第一個晶片到最後一個晶片的總體精度和控制,允許用戶在操作過程中對機器進行快速、準確的實時更改。EATON NOVA Paradigm XE利用高功率光束源，使工具達到高達15千瓦的最大劑量速率。該源還在整個晶片區域提供了特殊的劑量均勻性和均勻性，同時允許特殊的劑量範圍。這項資產配備了大型、兩級旋轉閥，用於精確控制和定制劑量率。此外，範式XE的光束線設計為最大限度地提高處理速度，控制光束能量擴散，並適應廣泛的光束技術。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE的集成監控模型為用戶提供了卓越的可見性和準確性。它提供了非常精確的反饋控制設備，以及全自動氣體監測系統，以提供實時反饋並保持準確的氣體水平。此外，還可以使用可編程控制器為不同的應用和材料快速設置設備。控制器還用於確保滿足正確的條件和配方參數，以達到期望的效果。最後,AXCELIS Paradigm XE提供一流的安全功能,如緊急情況下的全安全關閉機。此外,它還配備了雙級警報,以便在發生工具故障或任何其他異常時有效地向用戶發出警報。最後，EATON NOVA Paradigm XE是為半導體產業設計的強大的離子植入和監控資產。除了劑量率和控制、綜合監測模型和安全特性外,範式XE提供了最高級別的性能,並能夠產生盡可能好的結果。