二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9290830 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XE是一種離子植入器和顯示器，開發用於半導體制造。是一款將低能和中能離子束與高分辨率離子束監測能力相結合的高性能、低成本設備。該系統設計用於在離子植入過程中執行多種功能，包括離子束均勻性測量、束監測、器件電流測量、溫度控制和植入深度測量。AXCELIS範式XE離子植入器具有先進的光束控制單元，可實現精確的粒子放置和植入參數的精確控制。機器的最大光束電流超過1000 A/cm2，可調節掃描長度，以便在大面積上均勻植入。這使得該工具適合一系列的應用，包括超淺結和批量植入。EATON NOVA Paradigm XE的引擎由離子源、靜電加速器、電離器、光束濾波器和光束監控資產組成。離子源產生各種能量的離子，例如，在能量高達500 KeV的情況下產生砷和磷。離子被引導通過靜電加速器，在那裏它們被加速，隨後以精確大小和形狀的光束從電離器發出。光束監測模型允許優化植入參數，以實現均勻的植入深度。設備配備了先進的數字監控系統（DMS），提供對所有植入晶片的實時、並發監控，以及對植入數據的實時分析。DMS提供精確的叠加，允許比較不同的植入步驟或批次的晶圓。該單元還提供了增強的設置可配置性,允許用戶使用自定義光束掃描甚至多個光束來設置機器。範式XE是各類半導體器件植入的理想工具。該工具提供具有增強光束控制能力的高分辨率、低能量和中能量離子束。該資產能夠在離子植入過程中執行多種功能，包括離子束均勻性測量、光束監測、器件電流測量、溫度控制和植入深度測量。其數字監控模型提供了對所有植入晶片的實時、並發監控，以及對植入數據的透徹分析。