二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm #9029819 待售

EATON NOVA / AXCELIS Paradigm
ID: 9029819
晶圓大小: 12"
Implanter, 12" Currently installed.
EATON NOVA/AXCELIS範式是為先進技術半導體制造設施而設計的離子植入器和監控器。它是當今市場上最先進、最可靠的植入物之一,為設計師提供了對植入過程無與倫比的控制。AXCELIS Paradigm是一種雙光束植入器,結合了常規的直接光束和創新的間接光束,可以進行精確準確的植入。直接光束基於一個經過驗證的可靠平臺,對植入能量提供了極好的控制。它可以輸送廣泛的離子,包括硼、碳、的、磷和矽。間接光束在1微米的範圍內提供精確度,並允許在3D設備中高度精確的對準和植入層。這兩根梁都具有先進的安全功能,如冗余級別的保護、人機界面、直觀操作和自動安全測試。此外,EATON NOVA Paradigm還配備了業界領先的顯示器,用於在植入過程中控制植入層。監視器可以實時識別並提醒操作員植入過程中的任何潛在偏差。它還可以識別過程中可能排放的任何有害物質,並在發生任何風險之前予以制止。總體而言,範式對於那些需要先進離子植入物的人來說是一個完美的選擇。它提供了對植入過程的無與倫比的控制、完整的安全功能以及可靠、準確的3D設備層植入。
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