二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm #9215196 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm是一款現代化的離子植入器和監控設備，其設計目的是在半導體工業中提高晶片的加工精度和精度。它負責在制造過程中將離子註入晶圓表面，並監控其沈積和運動。該系統具有高精度的離子源和能量控制器，可以精確控制植入層的特性。腔室還配備了一個負載鎖單元和一臺精密的真空機，允許在短時間內高效處理多個晶片。離子源由線性加速器供電，能夠達到一定範圍的能量，從而產生更精確的植入劑量。來源由石英圓筒保護，有助於最大限度地減少汙染。該工具的光束線設計采用了配有靜電偏轉器的拋物面鏡，以準確掃描目標區域。這樣可以確保精確的植入物均勻分布在晶片表面。該資產還通過使用梁位置監測器和殘留氣體分析儀對植入層進行實時監測。這些測量被用來驗證離子植入的準確性。AXCELIS Paradigm在半導體工業晶片的加工中提供了最先進的精度和精確度。它提供了高精度的離子源，以及先進的真空和負載鎖定系統，以及實時監控功能。這些特性允許精確植入均勻分布在晶片表面的層,以確保準確的結果。對於那些希望提高晶片加工效率和質量的人來說，該模型是一個有價值的工具。