二手 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm #9235773 待售

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm是一種堅固可靠的離子植入器和顯示器，設計用於增強離子植入和精確離子轟擊。它結合了高效可靠的中能量（30-60keV）離子植入設備和綜合監控系統。它旨在消除不需要的光束汙染物，最大限度地減少副產物室汙染，並優化光束運動。AXCELIS範式具有獨特的圓柱形植入室。這個圓柱形的腔室減少了離軸雜質水平，增加了光束強度的均勻性，改善了試樣的表面處理。這樣可以提高效率進行精確的離子轟擊。EATON NOVA Paradigm單元還提供了可靠穩定的高壓電源，確保樣品在不波動的情況下接收到適當的植入電壓。包括一個具有圓形對稱透鏡的離子源，該透鏡提供均勻的植入和最小化的光束汙染。蝕刻的萃取柵格確保光束清潔，磁濾器提供進一步的光束凈化。高級高級監視機器使用集成的前端計算機界面來顯示運行參數,以監視工具的性能。這允許對植入條件進行調整，使資產處於控制和正常運行狀態。範式還利用燃氣箱結構和智能真空能力最大限度地減少離子轟炸室中的任何汙染。真空模型可以調整到不同材料的最佳分壓，對於獲得精確的光束能量至關重要。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm是一種先進可靠的離子植入器和監控裝置，提供均勻植入，汙染最小。其圓柱形腔室設計確保了精確的光束定位和可重復的結果，而其精密的監控設備則能夠對所有運行參數進行實時監控。AXCELIS範式是中等能量離子植入的理想選擇，在超細膜的精密沈積方面具有卓越的性能。