二手 EATON NOVA / AXCELIS Purion H2 #9292991 待售

EATON NOVA/AXCELIS Purion H2是一種離子植入器和監控器，旨在處理各種各樣的離子植入需求。AXCELIS Purion H2提供優化的光束均勻性、精度和出色的汙染防護，以確保在最高可重復性水平上實現多次植入。它具有1.4 mA的最大輸入束電流，並且能夠達到高水平的輸出電壓，使得它在廣泛的應用中高適合於重摻雜。EATON NOVA Purion H2是完全自動化的,允許用戶對光束參數進行編程和監控,這些參數可以在整個植入過程中根據需要進行調整。自動化功能包括光束強度控制、光束電極電壓調節、發射電流選擇等。Purion H2能夠接受廣泛的源材料，包括硼、碳、氧、氮、貴氣體等等。它還配備了一個裝有過程控制電子設備的控制臺，以及一個用戶界面，用於監控植入過程。用戶界面設計得直截了當、直觀，讓用戶能夠準確輕松地調整參數。此外，EATON NOVA/AXCELIS Purion H2還設有一個綜合安全系統，包括防濺區和防護罩，以防止人員受到任何汙染或傷害。整個系統圍繞一個最先進的真空密封室構建，確保達到最高的可用植入率。AXCELIS Purion H2也可以編程為執行多個同時離子植入，增加了它的多功能性。此外，該軟件包還包括一個綜合軟件包，旨在分析和監測數據，以實現流程優化。最後,EATON NOVA Purion H2是一種離子植入器和監測器,具有廣泛的特性,包括優化的光束均勻性、精度、汙染防護和高輸出電壓。這使Purion H2能夠處理各種離子植入需求，提供高度可重復、可靠和多用途的系統。