二手 HITACHI IP825A #293630417 待售

HITACHI IP825A設計用於微電子器件制造過程中高效、高精度的離子植入和監控。設備組合組由兩個模塊-離子植入器和輻射監測器組成。提供了性能最好的離子植入和監測微電子器件，高可靠性的IP825A是能夠達到高精度植入具有極高的動態範圍比現有系統。它的分辨率高達1：500,掃描速度高達120°/秒。這允許更有效的植入過程和更好的產量交付。離子植入器模塊便於各種過程，包括植入Ar+、Xe+、Ni+、O+、B+和N+粒子，以及離子蝕刻。它還有一個內置的電荷補償系統，減少植入的帶電粒子。同時，輻射監測模塊通過不斷監測植入條件和保證質量性能，有助於保持高精度環境。它的掃描窗口尺寸可達12毫米，確保更精確地測量粒子束參數。利用單位圖分析和監測光束角度、光束光斑大小等，大大提高了工藝效率。另外,機器在一個靈活的程序中控制兩種儀器.這使得在實時分析監測數據的同時，更容易操作植入工具的參數。資產還可以保存數據，系統召回。該模型采用直觀的圖形用戶界面（GUI），簡化了植入物的控制和監控。4.3英寸彩色液晶面板專為快速、輕松觀看而設計。它還為長期可靠性而設計，擁有90天的待機周期。HITACHI IP825A組合集適用於廣泛的微電子器件制造工藝.先進的功能和方便用戶的操作允許有效的監測和植入操作。這樣可以確保質量結果和提高吞吐量。