二手 INTEVAC Matrix #9294239 待售
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ID: 9294239
Implanter
Sequential pattern implant system:
Roughing pump
DI Chiller
Electrical power distribution
Implant source chamber
Energy system
Chamber exhaust:
Toxic exhausts from implant chamber roughing pump
Safety interlock
Gas box panel cover
Minimum differential pressure
Gas over pressure
Chamber vacuum
Module:
FORTIX Wafer loader and unloader
Wafer receiving station
Wafer buffer
Load lock chamber
Implant chamber
Mask and alignment
Peripheral:
Pump
DI Chiller
Power Distribution Unit (PDU).
INTEVAC Matrix是一種離子植入器和監視器設備，在世界範圍內用於各種應用。該系統用於在薄膜和半導體器件中精確、高速地註入離子。也用於通用材料改性和薄膜分析。該單元基於帶電粒子加速度的原理，植入的離子受到不穩定的控制。這是通過將離子聚焦並加速到目標材料上並停止和植入來實現的。對離子束進行精確的成型和監測，以減少在目標上的光柵時間，並提供高質量的結果。機器還配備了先進的自動光束聚焦裝置，確保光束在整個目標區域上的均勻性。它能夠在四分之一微米特性上進行植入，也與大多數腔室系統和晶圓尺寸兼容。該工具還配備了高級診斷功能,可用於過程和劑量控制以及材料分析。Matrix具有復雜的圖形用戶界面,可輕松操作並提高設備精度。它還包括一個在線劑量測量功能，允許用戶實時評估晶圓上的劑量沈積。此外，該資產能夠進行溫度和壓力監測，從而提高了工藝穩定性。該模型在植入過程中提供了無與倫比的精度，並已用於生產和研究。它有廣泛的應用，如對半導體進行摻雜，轉化結晶物質，或將摻雜劑植入金屬。它可以用於多種不同的材料，包括矽、散射、砷化散和鈦。INTEVAC Matrix是半導體行業的重要工具。它提供了一種可靠的植入方法，同時也允許無懈可擊的精度和準確性。
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