二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE LSS-20SLAT #293646283 待售
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ID: 293646283
Ion implanter
Beam diameter: 0.68mm ± 5%
Beam divergence: 1.05mrad
Wave length: 488nm
Maximum drift: <2.0%
Minimum air flow cooling: <50cfm
Expected lifetime: >20,000
Electrical power: Up to 60W
Output power: 50mW.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLAT是一種先進的離子植入器和監控設備,用於制造半導體器件的微觀結構變化。這是通過向材料引入受控數量的電荷載流子(電子或離子)來實現的。離子植入器通常用於制造先進的半導體器件和集成電路。KLA LSS-20SLAT使用線性加速器將電荷載流子註入材料中。離子束然後被多元素磁體系統成形聚焦成均勻能量的束。這確保了對沈積在材料中的能量量的精確控制。該單元能夠產生能量在20-250 KeV範圍內的光束。TENCOR LSS-20SLAT配備了一個高度靈敏的監視器,用於檢測裝藥載流子的植入。這有助於確保準確和精確的興奮劑控制。機器能檢測到氫、氧、氮等65種不同的氣體。LSS-20SLAT還具有先進的低壓等離子體源,以提高離子束的均勻性和準確性。該工具非常靈活,可以配置為滿足特定要求。它既可用於單晶片植入,也可用於批次模式植入。THERMA-WAVE LSS-20SLAT在半導體行業中作為最方便用戶、準確、可靠的離子植入器獲得了廣泛的認可。它已經在大批量生產以及研發應用中證明了自己。該資產在可靠性、準確性、靈活性和性能方面贏得了令人羨慕的聲譽。總之,KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLAT是一種先進的離子植入器和監測器模型,為研究和生產操作提供了高精度和可靠性。該設備的靈活配置和尖端技術使其成為半導體應用的絕佳選擇。
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