二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE ThermaProbe 420 #293619012 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE ThermaProbe 420是一種最先進的離子植入器和顯示器，旨在促進和控制離子在半導體晶圓中的極其精確的植入。KLA ThermaProbe 420具有範圍廣泛的離子能量範圍,從50 eV到450 keV,並具有廣泛的編程電流範圍,以確保對植入和監控過程的最佳控制。它的高性能和精確度使得各種材料能夠植入一系列材料中，從矽和二氧化矽到多晶矽和復合半導體材料。集成光束監測系統能夠對離子束進行非常快速、實時的成形，從而能夠更好地控制植入深度，並提供非常高的精度和可重復性。TENCOR THERMA-PROBE 420還具有較寬的植入物對植入物劑量變化範圍，提供對個體植入物劑量的最大控制。它的超靈敏離子束探測器甚至檢測離子束中最小的變化，並提醒使用者任何差異。用戶還可以調整梁的位置和梁的形狀，以確保在所有基板上均勻植入。此外，其先進的數據采集、分析和報告功能使用戶能夠獲得跟蹤植入過程進展所需的所有信息。TENCOR ThermaProbe 420還配備了諧波頻率和靜電能量等參數變化的多種光束源，以及一系列診斷和數據采集儀器。這為用戶提供了控制植入程度和監控植入過程進度的靈活性。為實現淺層和深層植入物的最佳精度和精確度，它還提供了多種調節光束參數的功能。綜上所述，THERMA-WAVE ThermaProbe 420是一款功能強大、高精度的離子植入器和監視器，為每個植入過程提供了高度的靈活性和準確性。其先進的數據采集、分析和報告工具、集成光束監測系統，以及種類繁多的光束源和診斷儀器，使其成為任何高精度植入項目的理想選擇。