二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE ThermaProbe 420 #9315382 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE ThermaProbe 420是一種先進的、用途廣泛的離子植入器和監視器，設計用於半導體材料的清潔、精確處理。該裝置旨在滿足芯片制造等高精度應用的需求，以及MEMS和納米技術制造等要求更高的應用。這臺多功能機器能夠將離子植入半導體基板的預定義區域，並對過程進行精確監控。KLA ThermaProbe 420的核心是一個高質量的離子源，產生具有高空間精度和均勻劑量率的單帶電荷離子。離子源由一個端口組成，可以配置為產生正離子或負離子。這些離子是通過電氣、化學和熱工程組合產生的，確保了清潔、均勻的植入。該設備通過高級軟件和硬件得到進一步增強。憑借內置的診斷和監測能力，它能夠精確控制離子的劑量和富集，以達到底物中所需的性質。它還包括一個發射譜分析系統，記錄和顯示基板中存在的各種元素，使工程師能夠調整參數以更好地控制。TENCOR THERMA-PROBE 420具有很高的靈活性，提供能量範圍、脈沖長度和頻率、電流密度、蝕刻條件、光束寬度和強度等可編程源參數。這允許用戶精確地定制植入過程，以在基板內產生所需的屬性，或者模擬特定的過程。該裝置還具有質量濾波器，能夠調節離子能量，分離植入束內不同質量的離子。這種分離使得可以控制植入層的厚度和均勻性，以及細化離子劑量率的精確結果。THERMA-PROBE 420允許簡單準確的使用而不犧牲精度。它是任何半導體應用以及更專業的利基應用的特殊工具。它具有高精度、詳細的過程控制和安全機制,是廣泛應用的可靠平臺。